洛陽(yáng)中硅高科攻克9N級(jí)電子特氣技術(shù)|國(guó)產(chǎn)芯片材料實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代突圍
導(dǎo)語(yǔ)
【國(guó)產(chǎn)芯片材料重大突破】中國(guó)電子化工領(lǐng)域迎來(lái)里程碑進(jìn)展!洛陽(yáng)中硅高科技有限公司近日宣布,其自主研發(fā)的"硅基材料超高純制備關(guān)鍵技術(shù)"通過(guò)國(guó)家級(jí)科技成果認(rèn)證,成功打破美日德長(zhǎng)達(dá)20年的技術(shù)壟斷,國(guó)產(chǎn)電子特氣材料正式邁入國(guó)際第一梯隊(duì)。
"卡脖子"破局:芯片制造用上國(guó)產(chǎn)"工業(yè)血液"
作為芯片制造的核心基礎(chǔ)材料,超高純硅基材料(含電子級(jí)三氯氫硅、四甲基硅烷等)被稱(chēng)為"芯片工業(yè)的血液"。此前我國(guó)90%依賴(lài)進(jìn)口,單價(jià)超5萬(wàn)元/公斤,且面臨隨時(shí)斷供風(fēng)險(xiǎn)。中硅高科聯(lián)合清華大學(xué)、浙江大學(xué)等機(jī)構(gòu)歷時(shí)5年攻關(guān),首創(chuàng)分子篩深度提純技術(shù),實(shí)現(xiàn)純度達(dá)99.9999999%(9N級(jí))的突破。
核心技術(shù)突破:純度達(dá)9N級(jí)創(chuàng)全球新高
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技術(shù)指標(biāo):電子級(jí)三氯氫硅純度超國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),適配28納米以下先進(jìn)制程
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專(zhuān)利布局:累計(jì)申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利56項(xiàng),構(gòu)建從提純?cè)O(shè)備到檢測(cè)的全鏈條技術(shù)壁壘
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產(chǎn)線建設(shè):建成國(guó)內(nèi)首條全自主電子特氣生產(chǎn)線,年產(chǎn)能突破2000噸
國(guó)產(chǎn)替代效應(yīng):成本直降40% 覆蓋中芯/長(zhǎng)存等大廠
目前該技術(shù)成果已在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等頭部芯片企業(yè)實(shí)現(xiàn)規(guī)?;瘧?yīng)用:
? 存儲(chǔ)芯片良品率提升12%
? 5G射頻器件生產(chǎn)成本降低40%
? 年替代進(jìn)口材料超800噸
據(jù)測(cè)算,全面國(guó)產(chǎn)化后每年可節(jié)省外匯超50億元,保障國(guó)內(nèi)3000億芯片產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)安全。
院士點(diǎn)評(píng):國(guó)際先進(jìn)水平 加速培育新質(zhì)生產(chǎn)力
中國(guó)工程院專(zhuān)家組認(rèn)證顯示,該技術(shù)整體達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平,其中:
? 電子特氣純度指標(biāo)全球領(lǐng)先
? 設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率超95%
? 能耗較傳統(tǒng)工藝降低30%
"這是國(guó)產(chǎn)芯片材料從跟跑到領(lǐng)跑的關(guān)鍵轉(zhuǎn)折。"項(xiàng)目評(píng)審組長(zhǎng)表示。
企業(yè)動(dòng)態(tài)
中硅高科透露,計(jì)劃投資20億元建設(shè)亞洲最大電子材料產(chǎn)業(yè)園,2026年前實(shí)現(xiàn)12英寸晶圓用材料全覆蓋,助推"中國(guó)芯"國(guó)產(chǎn)化率從15%提升至35%。