東麗公司利用其先進(jìn)的高靈敏度負(fù)性配方和專有光刻膠設(shè)計(jì)技術(shù)，成功開發(fā)出新型光敏聚酰亞胺材料STF-2000。該材料在厚膜光刻領(lǐng)域取得顯著突破，能在高達(dá)200微米的薄膜上實(shí)現(xiàn)精細(xì)30微米線寬加工，深寬比達(dá)到優(yōu)異的7:1。同時(shí)，STF-2000展現(xiàn)出卓越的高分辨率性能，可實(shí)現(xiàn)線寬/間距（L/S）=4微米以下的精密圖案化。

這些特性使STF-2000成為開發(fā)新一代MEMS器件（如高精度傳感器等微機(jī)電系統(tǒng)）的理想材料。此外，該產(chǎn)品符合歐盟等嚴(yán)格環(huán)保法規(guī)，不含NMP（N-甲基吡咯烷酮）和PFAS（全氟/多氟烷基物質(zhì)），滿足綠色制造需求。

東麗計(jì)劃于2025年啟動(dòng)STF-2000量產(chǎn)，并正在積極推進(jìn)其厚膜片型產(chǎn)品的開發(fā)，為未來先進(jìn)封裝和MEMS制造提供更多解決方案。